一、 科学研究与实验
1、光学与光子学:
光束对准与扫描: 精确调整激光器、透镜、反射镜、分光镜、光纤耦合器等光学元件的位置,用于光路搭建、光束整形、共焦显微、光学相干层析成像(OCT)、光谱分析、激光加工等。
显微成像: 在共聚焦显微镜、荧光显微镜、超分辨显微镜中精确移动样品或探测器,实现三维成像、大范围扫描、时间序列成像。
干涉测量: 在迈克尔逊干涉仪等装置中精确移动参考镜,进行表面形貌测量、薄膜厚度测量。
光通信测试: 光纤对准、光器件(如波分复用器、光开关)的测试与校准。
半导体与微电子:
晶圆检测与计量: 在缺陷检测设备、轮廓仪、膜厚测量仪中精确定位晶圆进行扫描和测量。
光刻对准: (虽然光刻机本身使用更复杂的平台)在某些研发或掩模对准环节中可能需要精密位移。
探针台: 精确定位探针卡与芯片的焊盘进行电性能测试。
封装测试: 芯片分选、打线等工艺中的精密定位。
生命科学与生物医学:
显微镜平台: 自动化载物台用于细胞观察、组织切片扫描、高通量筛选。
显微操作: 在显微注射、细胞分选、微手术等操作中精确控制微针、微管的位置。
生物芯片/微流控: 定位检测器扫描生物芯片,或在微流控设备中精确控制样品或试剂的位置。
诊断设备: 如自动生化分析仪、化学发光免疫分析仪中样本架、试剂盘、反应杯的移动,流式细胞仪中的液路控制部件定位。
材料科学:
表面分析: 在扫描探针显微镜(AFM, STM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)等设备中精确移动样品进行扫描、选区分析。
力学性能测试: 在纳米压痕仪、微力测试仪中控制压头或样品的精密移动。
精密加工与检测:
激光加工: 控制激光焦点在工件上的精确定位和扫描路径,用于切割、焊接、打标、钻孔、表面处理(如激光清洗、激光熔覆)。
非接触式测量: 在坐标测量机(CMM)、激光扫描仪、机器视觉检测系统中移动测头或相机/激光器,对工件进行三维尺寸和形貌测量。
自动光学检测(AOI): 在PCB、显示屏、半导体封装等生产线上移动相机进行缺陷检测。
精密装配: 在微电子组装、精密仪器制造中定位微小部件。
自动化生产线:
物料搬运与定位: 在自动化装配线、分拣线、包装线上精确移动工件、夹具或工具头到指定工位。
机器人末端执行器: 作为机器人的附加轴,提供更精细的定位能力(如精密点胶、微小零件抓取放置)。
测试与校准工装: 在产品功能测试、传感器校准等环节精确定位被测物或测试探头。
医学影像:
CT扫描仪: 控制病床的精确进给。
X光机/DR: 定位探测器或X射线源(在某些设计中)。
核医学成像(PET/SPECT): 探测器或准直器的精密运动控制。
放射治疗: 在直线加速器等设备中,用于多叶光栅的叶片位置控制或患者定位(虽然治疗床通常是更复杂的系统)。
治疗设备:
手术机器人: 提供器械末端的高精度、稳定运动。
激光治疗设备: 精确控制治疗激光的照射位置。
实验室自动化: 自动化样本处理系统、液体处理工作站(移液器定位)中广泛使用。
航空航天:
风洞实验中模型姿态的精密调整。
卫星载荷(如相机、天线)的地面测试与标定。
惯性导航系统测试平台。
国防与安全:
光电侦察/瞄准系统中的稳定与跟踪平台。
激光雷达扫描系统。
精密测试设备。
汽车:
零部件(如传感器、喷油嘴)的精密测试台。
车辆NVH测试中的激振器定位。
自动驾驶传感器(激光雷达、摄像头)的标定设备。
通信:
微波/射频测试中天线或待测设备的定位。
卫星通信地面站天线的精密调整(大型天线通常用其他方式,但小型或研发测试可用)。
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